退火氧分压对AZO薄膜的透光和导电性能的影响

来源期刊：材料研究学报2018年第11期

论文作者：王艳雪 李瑞武 范巍 郭媛媛 周艳文 吴法宇

文章页码：861 - 866

关键词：无机非金属材料;掺铝氧化锌薄膜;磁控溅射;氧分压;电学性能;光学性能;

摘    要：在室温下采用射频磁控溅射粉末靶在玻璃基底上制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,采用扫描电镜、X射线衍射仪、紫外可见分光光度计和霍尔效应仪等手段表征和分析了薄膜的微观结构和光电性能,研究了退火氧分压对薄膜光电性能的影响。结果表明:退火后的AZO薄膜仍具有c轴择优取向的六方纤锌矿结构,薄膜的表面致密光滑;随着退火氧分压的降低AZO薄膜光学带隙变窄、透光率有所降低,但是其值均高于80%;随着退火氧分压的降低载流子浓度显著升高,电导特性明显改善,电阻率最低达到2.1×10^-3Ω·cm。