射频辉光放电飞行时间质谱法分析薄膜:脉冲模式与连续模式的比较
来源期刊：冶金分析2009年第11期
论文作者：SANZ-MEDEL A LOBO L LICCIARDELLO A BORDEL N HOHL M TUCCITTO N TEMPEZ A MICHLER J PEREIRO R PISONERO J CHAPON P
关键词：射频辉光放电; 飞行时间质谱法; 薄膜; 脉冲模式; 连续模式; radiofrequency glow discharge; time of flight mass spectrometry; thin film; pulse mode; continuous mode;
摘 要：高级多层材料的直接表面和深度分布化学分析要求了解多维信息,包括同时了解元素和分子信息.用飞行时间质谱法(TOFMS)检测的脉冲式射频辉光放电(pulsed rf-GDs)可以从种类繁多的材料中直接提供化学信息,且简单快捷.另一方面,脉冲式射频辉光放电中输入功率的时间分布由于不同的离子化机理产生3个主要放电阶段(峰前,高峰平稳,峰后).结果证明将辉光放电离子源和一个快速飞行时间质谱仪相结合能够实现在不同的脉冲阶段几乎同时获得元素和分子信息.
SANZ-MEDEL A1，LOBO L1，LICCIARDELLO A2，BORDEL N3，HOHL M4，TUCCITTO N2，TEMPEZ A5，MICHLER J6，PEREIRO R1，PISONERO J3，CHAPON P5
(1.奥维多大学化学学院物理和分析化学系,奥维多 33006,西班牙;
2.卡塔尼亚大学化学系,卡塔尼亚 95125,意大利;
3.奥维多大学科学学院物理系,奥维多 33007,西班牙;
4.Tofwerk AG公司,Uttigenstrasse 22,CH-3600 Thun,瑞士;
5.Horiba Jobin Yvon公司,Longjumeau 91160,法国;
6.EMPA材料科技有限公司,Feuerwerkerstrasse 39,CH-3602 Thun,瑞士)
摘要:高级多层材料的直接表面和深度分布化学分析要求了解多维信息,包括同时了解元素和分子信息.用飞行时间质谱法(TOFMS)检测的脉冲式射频辉光放电(pulsed rf-GDs)可以从种类繁多的材料中直接提供化学信息,且简单快捷.另一方面,脉冲式射频辉光放电中输入功率的时间分布由于不同的离子化机理产生3个主要放电阶段(峰前,高峰平稳,峰后).结果证明将辉光放电离子源和一个快速飞行时间质谱仪相结合能够实现在不同的脉冲阶段几乎同时获得元素和分子信息.
关键词:射频辉光放电; 飞行时间质谱法; 薄膜; 脉冲模式; 连续模式; radiofrequency glow discharge; time of flight mass spectrometry; thin film; pulse mode; continuous mode;
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