负衬底偏压对碳纳米管生长的影响
来源期刊:材料导报2002年第9期
论文作者:徐幸梓 王必本
关键词:碳纳米管; 热灯丝CVD; 负衬底偏压;
摘 要:利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负衬底偏压的增大先增强,然后减弱,并且出现了部分准直的碳纳米管.分析和讨论了负衬底偏压对碳纳米管生长的影响.
徐幸梓1,王必本2
(1.重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400044;
2.亚洲大学分子科学与技术系,水原,442-749,韩国)
摘要:利用负衬底偏压增强热灯丝化学气相沉积系统制备了碳纳米管.用扫描电子显微镜研究了碳纳米管的生长,结果表明碳纳米管的生长随着负衬底偏压的增大先增强,然后减弱,并且出现了部分准直的碳纳米管.分析和讨论了负衬底偏压对碳纳米管生长的影响.
关键词:碳纳米管; 热灯丝CVD; 负衬底偏压;
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