溶胶凝胶法混合掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究
来源期刊：功能材料与器件学报2012年第5期
论文作者：邓焯泳 朱惠宗 冯金垣
文章页码：341 - 344
关键词：溶胶凝胶法;SnO2;气敏;光反射率;灵敏度;
摘 要：采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜,常温下对不同掺杂浓度的薄膜在丙酮、乙醇两种气氛作用下进行气敏光学特性测试。研究分析表明,1%Fe_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的乙醇特性灵敏度在较宽波段保持15%左右;5%Cu_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的丙酮气敏特性最好,灵敏度最高可达23.9%。
邓焯泳，朱惠宗，冯金垣
华南理工大学理学院
摘 要：采用溶胶凝胶法在玻璃基片上制备混合掺杂Cu_TiO2和Fe_TiO2的SnO2薄膜,常温下对不同掺杂浓度的薄膜在丙酮、乙醇两种气氛作用下进行气敏光学特性测试。研究分析表明,1%Fe_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的乙醇特性灵敏度在较宽波段保持15%左右;5%Cu_TiO2_SnO2混合掺杂薄膜的丙酮气敏特性最好,灵敏度最高可达23.9%。
关键词：溶胶凝胶法;SnO2;气敏;光反射率;灵敏度;
