SO1-Gel法硅基PZT铁电薄膜研究
来源期刊：功能材料2001年第3期
论文作者：张武全 刘理天 李志坚 张林涛 任天令
关键词：sol-gel法; PZT; 铁电薄膜;
摘 要：介绍了以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料用溶胶-凝胶(sol-gel)方法在硅衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程.对铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析,结果表明硅基PZT薄膜形成了良好的钙钛矿结构.并在此基础上实现了制备PZT铁电薄膜的低温改进工艺.
张武全1，刘理天1，李志坚1，张林涛1，任天令1
(1.清华大学,微电子所,)
摘要:介绍了以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料用溶胶-凝胶(sol-gel)方法在硅衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程.对铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析,结果表明硅基PZT薄膜形成了良好的钙钛矿结构.并在此基础上实现了制备PZT铁电薄膜的低温改进工艺.
关键词:sol-gel法; PZT; 铁电薄膜;
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