基于APDL的微梳齿谐振器动态空气阻尼分析

来源期刊：功能材料与器件学报2014年第5期

论文作者：于京明 孟婥 孙以泽

文章页码：122 - 126

关键词：ANSYS参数化设计语言APDL;微梳齿谐振器;空气阻尼;动态特性;

摘    要：为分析微梳齿谐振器在空气阻尼下高频振动的动态特性,采用ANSYS参数化设计语言APDL进行编程分析,程序中将微谐振器模型简化成有面积的质量点,对质量点添加条件和约束建立分析模型,用FLUID139单元设置空气层模型,用TRANS126单元设置叉指换能模块,通过此程序求解的真空条件下的共振频率与理论分析结果基本吻合。与现有方法相比,该方法快速、实用、具有更好的适应性。