化学溶液沉积法制备Ca3Co4O9热电薄膜材料研究
来源期刊：有色金属加工2008年第4期
论文作者：张育生 赵昆渝 李智东
文章页码：36 - 39
关键词：热电材料;热电薄膜;旋涂法;雾化法;
摘 要：本次实验制备了不同的前驱液,分别利用旋涂法及超声雾化法成功地在SiO2/Si衬底上生长出了Ca3Co4O9热电薄膜。利用XRD检测技术对薄膜样品进行了物相分析,用金相显微分析技术分析了薄膜的表观相貌。实验结果表明,在SiO2/Si衬底生长出的Ca3Co4O9薄膜具有一定的择优取向,雾化法制备的薄膜样品具有较好的表观质量。
张育生，赵昆渝，李智东
摘 要：本次实验制备了不同的前驱液,分别利用旋涂法及超声雾化法成功地在SiO2/Si衬底上生长出了Ca3Co4O9热电薄膜。利用XRD检测技术对薄膜样品进行了物相分析,用金相显微分析技术分析了薄膜的表观相貌。实验结果表明,在SiO2/Si衬底生长出的Ca3Co4O9薄膜具有一定的择优取向,雾化法制备的薄膜样品具有较好的表观质量。
关键词：热电材料;热电薄膜;旋涂法;雾化法;
