SU-8胶制备三维微电极结构研究

文春明^1,2，尤政³，温志渝^1,2，王晓峰³，陈李^1,2

1. 新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室2. 重庆大学微系统中心3. 清华大学精密仪器与机械学系

摘 要：为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构。经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构。分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响。实验结果表明,用SU-8胶制备高深宽三维电极微结构,能在相同底面积的基础上有效增加电极结构的表面积,提高单位底面积的电容器储能密度。

关键词：三维微结构;SU-8光刻胶;高深宽比;超级电容器;MEMS;