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TiB2-BN-AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展

来源期刊:耐火材料2020年第1期

论文作者:史晓伟 白佳海 杜庆洋 魏春城

文章页码:77 - 81

关键词:TiB2-BN-AlN复相陶瓷;蒸发舟;导电陶瓷;致密度;导电性;抗弯强度;

摘    要:TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。

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TiB2-BN-AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展

史晓伟1,白佳海1,杜庆洋1,魏春城1

1. 山东理工大学材料科学与工程学院

摘 要:TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。

关键词:TiB2-BN-AlN复相陶瓷;蒸发舟;导电陶瓷;致密度;导电性;抗弯强度;

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