TiB2-BN-AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展
来源期刊:耐火材料2020年第1期
论文作者:史晓伟 白佳海 杜庆洋 魏春城
文章页码:77 - 81
关键词:TiB2-BN-AlN复相陶瓷;蒸发舟;导电陶瓷;致密度;导电性;抗弯强度;
摘 要:TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。
史晓伟1,白佳海1,杜庆洋1,魏春城1
1. 山东理工大学材料科学与工程学院
摘 要:TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。
关键词:TiB2-BN-AlN复相陶瓷;蒸发舟;导电陶瓷;致密度;导电性;抗弯强度;