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燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的研究

来源期刊：功能材料2000年第1期

论文作者：陈吉安黄树涛于骏一

关键词：燃焰法; 金刚石厚膜; 沉积;

摘要：研究了气体流量比(O/CH)对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响,并以约50μm/h的较高速率沉积出了均匀、致密呈淡黄色透明状的高质量金刚石厚膜.

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陈吉安¹，黄树涛¹，于骏一¹

(1.吉林工业大学机械科学与工程学院,吉林长春,130025)

摘要:研究了气体流量比(O/CH)对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响,并以约50μm/h的较高速率沉积出了均匀、致密呈淡黄色透明状的高质量金刚石厚膜.

关键词:燃焰法; 金刚石厚膜; 沉积;

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