简介概要

U薄膜制备方法

来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第8期

论文作者：汪小琳吕学超任大鹏

关键词：U薄膜; 制备方法; U薄膜抗氧化处理; U film; preparation methods; U film against oxidation;

摘要：探讨了U薄膜的制备方法.主要介绍了机械抛光、电解抛光、机械轧制、磁控溅射沉积、离子束辅助沉积和聚焦离子束方法等,涉及了精细U薄膜的制备要求.同时,简要介绍了防止U薄膜氧化的后处理手段.

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汪小琳¹，吕学超¹，任大鹏¹

(1.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900)

摘要:探讨了U薄膜的制备方法.主要介绍了机械抛光、电解抛光、机械轧制、磁控溅射沉积、离子束辅助沉积和聚焦离子束方法等,涉及了精细U薄膜的制备要求.同时,简要介绍了防止U薄膜氧化的后处理手段.

关键词:U薄膜; 制备方法; U薄膜抗氧化处理; U film; preparation methods; U film against oxidation;

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