原子层沉积氧化锌应用于铜铟镓硒太阳能电池缓冲层的研究

廖荣^1,2，张海燕¹，谢佳亮²，杨铁铮²，罗文中²，胡伟²

1. 广东工业大学材料与能源学院2. 华南理工大学电子与信息学院

摘 要：用原子层沉积法在钠钙玻璃上沉积氧化锌薄膜,利用场发射扫描电镜和X射线衍射(XRD)等对样品表面形貌和物相进行分析,结果表明得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,颗粒的尺寸在30～60nm之间;测得的ZnO薄膜厚度仅50nm,符合缓冲层要求;薄膜在可见光区域透射率达90%以上;使用原子层沉积氧化锌薄膜作铜铟镓硒太阳能电池的缓冲层,TEM显示氧化锌层完好、致密地覆盖在CIGS层上,电池的光电转换效率较高,完全可以替代有毒的CdS作缓冲层。

关键词：原子层沉积;氧化锌薄膜;铜铟镓硒太阳能电池;缓冲层;