高激光损伤阈值溶胶-凝胶ZrO2薄膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年增刊第2期
论文作者：李海元 胡丽丽 唐永兴
关键词：溶胶-凝胶; 激光损伤阈值; 薄膜; ZrO2; ZrOCl2·8H2O;
摘 要：采用醇热法水解氧氯化锫(ZrOCl2·8H2O)制备ZrO2溶胶,提拉法涂膜.采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征.结果表明,ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18.9 nm,薄膜经300℃热处理后折射率可高达1.95,膜层表面均匀平整,表面平均粗糙度仅为0.561 nm,膜层的激光损伤阈值为14 J/cm2(1064nm,1 ns).
李海元1，胡丽丽1，唐永兴1
(1.中科院上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800)
摘要:采用醇热法水解氧氯化锫(ZrOCl2·8H2O)制备ZrO2溶胶,提拉法涂膜.采用粘度、粒度分布、折射率、IR、DSC、AFM等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征.结果表明,ZrO2溶胶颗粒的平均粒径为18.9 nm,薄膜经300℃热处理后折射率可高达1.95,膜层表面均匀平整,表面平均粗糙度仅为0.561 nm,膜层的激光损伤阈值为14 J/cm2(1064nm,1 ns).
关键词:溶胶-凝胶; 激光损伤阈值; 薄膜; ZrO2; ZrOCl2·8H2O;
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