Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜巨磁阻抗效应的影响

周勇¹，张亚民¹，陈吉安¹，高孝裕¹，周志敏¹，丁文¹，王明军¹

(1.上海交通大学,微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030)

摘要:采用射频磁控溅射方法和微细加工工艺制备了不同Cu层宽度的弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗率随Cu层宽度的变化具有显著的变化,在频率10MHz、磁场12kA/m下,当Cu层宽度为0.4mm时,纵向、横向巨磁阻抗率分别达-57%、-65%.

关键词:FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB三明治薄膜; 巨磁阻抗; 弯曲型结构; 微细加工;

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