Cu-W薄膜表面形貌各向异性与相结构

徐可为¹，汪渊¹，马栋林³，陈元华¹，范多旺⁴

(1.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049;
2.兰州交通大学机械与动力学院,兰州,730070;
3.兰州理工大学电信工程学院,兰州,730050;
4.兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州,730070)

摘要:提出了-种基于离散小波变换和分形几何概念定量描述薄膜表面形貌各向异性的新方法,并据此研究了磁控溅射Cu-W薄膜表面结构特征随退火温度的演变.结果表明,薄膜表面聚合过程有两个不同阶段:孔洞处形核和颗粒生长;薄膜表面形貌分形维数可很好地描述表面粗化程度.研究发现,表面形貌各向异性变化趋势对相结构变化敏感.指出这种结合小波变换和分形几何概念表征薄膜表面形貌的方法,可以较灵敏地探测到Cu-W薄膜表面结构各向异性变化.

关键词:Cu-W薄膜; 表面各向异性; 相结构; 小波变换和分形;

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