原子氧对石墨烯膜电阻的影响

来源期刊：材料工程2017年第8期

论文作者：刘宇明 李蔓 刘向鹏 张凯 赵春晴

文章页码：9 - 13

关键词：石墨烯;原子氧;剥蚀率;原子氧探测器;

摘    要：通过对石墨烯膜在原子氧辐照下电阻变化研究,并结合原子氧辐照前后石墨烯膜表面微观形貌分析,发现石墨烯膜会被原子氧剥蚀,膜厚逐渐减小直至完全剥蚀。石墨烯膜的电阻在原子氧辐照初期有所下降,之后开始上升。说明在原子氧辐照初期有石墨烯吸附氧原子的现象,在后期石墨烯膜电性能变化符合电阻定律。利用石墨烯剥蚀厚度或者石墨烯电阻变化数据两种方法都可以得到石墨烯膜剥蚀率,约为（1.2¹.3）×10-25cm3/atom。根据石墨烯膜电阻随原子氧注量的关系,提出一种新的原子氧探测器。