金刚石膜中氮杂质状态的研究
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：杨广亮 刘建设 吕宪义 李哲奎 金曾孙 吴汉华
关键词：EA-CVD方法; 金刚石膜; 氮杂质;
摘 要：用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质.沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少.
杨广亮1，刘建设2，吕宪义1，李哲奎3，金曾孙1，吴汉华1
(1.吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012;
2.河南黄河旋风有限责任公司,河南,长葛,461500;
3.延边大学,物理系,吉林,延吉,133000)
摘要:用EA-CVD(Electron assisted Chemical Vapor Deposition)方法制备出金刚石膜,并且用拉曼光谱、荧光谱、红外吸收谱和顺磁共振谱研究了金刚石膜中的氮杂质.实验结果表明,用EA-CVD方法制备的金刚石膜中氮杂质主要是以Ns0、Ns+、[N-V]0和[N-V]-1的形式存在,没有检测到在天然金刚石和高温高压金刚石中常见的A和B中心形式存在的氮杂质.沉积实验中随着氢气流量的增加,也就是金刚石膜沉积环境中氮浓度的减少,金刚石膜中氮杂质含量减少.
关键词:EA-CVD方法; 金刚石膜; 氮杂质;
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