退火温度对Sol-gel法制备的BiFeO3薄膜结构及电性能的影响
来源期刊：材料导报2009年第4期
论文作者：晏伯武 王秀章 刘红日
关键词：铁电薄膜; 溶胶-凝胶法; BiFeO3薄膜; 退火温度;
摘 要：采用溶胶-凝胶法在ITO/glass衬底上制备了BiFeO3薄膜,退火温度分别为500℃和550℃.实验结果表明,550℃退火的薄膜晶粒较大且不均匀,并有杂相产生,薄膜的漏电流较大,没有得到饱和的电滞回线;而在500℃退火的薄膜晶粒较小且均匀,没有杂相产生,相对于550℃退火的薄膜,其漏电流密度降低了约2个数量级,铁电性得到明显增强,剩余极化强度约为40μC/cm2,矫顽场约为75kV/cm,最大的测试电场为130kV/cm.
晏伯武1，王秀章2，刘红日2
(1.黄石理工学院计算机学院,黄石,435003;
2.湖北师范学院物理与电子科学学院,黄石,435002)
摘要:采用溶胶-凝胶法在ITO/glass衬底上制备了BiFeO3薄膜,退火温度分别为500℃和550℃.实验结果表明,550℃退火的薄膜晶粒较大且不均匀,并有杂相产生,薄膜的漏电流较大,没有得到饱和的电滞回线;而在500℃退火的薄膜晶粒较小且均匀,没有杂相产生,相对于550℃退火的薄膜,其漏电流密度降低了约2个数量级,铁电性得到明显增强,剩余极化强度约为40μC/cm2,矫顽场约为75kV/cm,最大的测试电场为130kV/cm.
关键词:铁电薄膜; 溶胶-凝胶法; BiFeO3薄膜; 退火温度;
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