扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用

来源期刊：无机材料学报2014年第12期

论文作者：朱信华 李爱东 刘治国

文章页码：1233 - 1240

关键词：扫描透射电子显微镜;Z-衬度STEM像;高K柵介质材料;界面微结构;综述;

摘    要：扫描透射电子显微镜（STEM）原子序数衬度像（Z-衬度像）具有分辨率高（可直接"观察"到晶体中原子的真实位置）、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点,成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点,并结合具体的高K栅介质材料（如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜）对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级,该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此,本文亦进行了介绍。