硅基单结太阳能电池的制备技术、缺陷及其性能的研究

季鑫¹，杨德仁²，答建成³

1. 上海工程技术大学基础教学学院2. 浙江大学硅材料国家重点实验室3. 上海工程技术大学材料工程学院

摘 要：首先综述了硅基单结太阳能电池的分类、制备方法及进展,介绍了化学气相沉积法、液相外延法(LPPE)、金属诱导结晶法(MIC)、磁控溅射法以及分子束外延法等各种硅基太阳能电池的制备方法,阐述了各种制备工艺的优缺点。其次,总结了单晶硅、多晶硅以及非晶硅太阳能电池在组织结构、缺陷方面的研究现状。最后,对硅基太阳能电池的机械、电学、光学以及光电性能等方面的研究进展做了论述。

关键词：硅基单结太阳能电池;制备方法;单晶硅;多晶硅;非晶硅;缺陷;力学性能;