氧化钒-氧化石墨烯复合薄膜的制备及其光电特性

李欣荣，王蒙，谷雨，连宇翔，王福，许向东

电子科技大学光电科学与工程学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室光电探测及传感集成教育部重点实验室

摘 要：基于溶胶凝胶法,采用旋涂和喷涂相结合的工艺,制备了氧化钒（VOx,1≤x≤2.5）-氧化石墨烯（GO）复合薄膜。利用SEM、XRD、椭偏仪、紫外可见分光光度计、FTIR及高阻仪对所制薄膜的形貌、晶相、光学及电学性能进行了系统的表征测试。结果表明,加入GO之后,VOx-GO复合薄膜的电阻率由108.78Ω·cm下降至68.64Ω·cm,而薄膜的电阻温度系数（TCR）则由-1.98%·K-1提高至-2.60%·K-1。此外,VOx-GO复合薄膜还具有更高的光吸收率和工作稳定性。说明GO的加入增强了VOx薄膜作为非制冷红外探测器热敏材料的综合性能。本研究为探索基于VOx的新型红外热敏材料提供了参考,同时也对非制冷红外探测器的发展有促进作用。

关键词：红外探测器;氧化钒-氧化石墨烯;复合薄膜;热敏电阻;光学性能;电学性能;