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应用离子束混合技术研制气敏-热敏多功能陶瓷材料

来源期刊:功能材料2002年第4期

论文作者:徐政 陈晓明 闫玉华 樊东辉 李世普

关键词:离子束; 多功能; 热敏陶瓷;

摘    要:以PTC BaTiO3热敏陶瓷为基底材料,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2气体敏感薄膜.应用X射线衍射(XRD)和光电子能谱技术(XPS)对样品薄膜层的物相及化学结合状态进行较为详细的分析.

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应用离子束混合技术研制气敏-热敏多功能陶瓷材料

徐政1,陈晓明2,闫玉华2,樊东辉1,李世普2

(1.同济大学材料学院微电子材料研究所,上海,200092;
2.武汉理工大学生物材料研究中心,湖北武汉,430070)

摘要:以PTC BaTiO3热敏陶瓷为基底材料,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2气体敏感薄膜.应用X射线衍射(XRD)和光电子能谱技术(XPS)对样品薄膜层的物相及化学结合状态进行较为详细的分析.

关键词:离子束; 多功能; 热敏陶瓷;

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