钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：李燕 姜斌 邓宏 姚海军 蒋书文 罗佳慧
关键词：激光分子束外延; SrTiO3/BaTiO3; 多层膜; 反射式高能电子衍射; 原子力显微镜;
摘 要：用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380～470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.
李燕1，姜斌1，邓宏1，姚海军1，蒋书文1，罗佳慧1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片温度为380～470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑,并且具有完全C轴取向.同时运用X射线光电子能谱(XPS)研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散.
关键词:激光分子束外延; SrTiO3/BaTiO3; 多层膜; 反射式高能电子衍射; 原子力显微镜;
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