重掺锑直拉单晶硅的掺氮效应
来源期刊：世界有色金属2015年第1期
论文作者：韩建超
文章页码：36 - 38
摘 要：本文研究了Si3N4熔融掺氮条件下重掺锑直拉单晶硅的性质。实验结果表明,掺氮重掺锑直拉单晶硅比一般的重掺锑直拉单晶硅具有更低密度的0.20.3μm尺寸COP,经过高温热处理之后,HSb-NCZSi具有更高的与氧沉淀相关的体微缺陷密度,此外,其对应硅片的机械强度也比HSb-CZSi增强。
韩建超
上海合晶硅材料有限公司
摘 要：本文研究了Si3N4熔融掺氮条件下重掺锑直拉单晶硅的性质。实验结果表明,掺氮重掺锑直拉单晶硅比一般的重掺锑直拉单晶硅具有更低密度的0.20.3μm尺寸COP,经过高温热处理之后,HSb-NCZSi具有更高的与氧沉淀相关的体微缺陷密度,此外,其对应硅片的机械强度也比HSb-CZSi增强。
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