微驱动器的研究与发展

来源期刊：机械设计与制造2008年第7期

论文作者：梁磊 王少萍 焦宗夏 曹锋

文章页码：227 - 229

关键词：微驱动器;微电子机械系统(MEMS);驱动原理;驱动方式;

摘    要：微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,简称MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术,微驱动器是MEMS的重要组成部分。首先阐述了几种新型驱动原理:机械化学驱动、渗透驱动、生物能源驱动、仿生驱动、光致伸缩驱动,接下来介绍了常用驱动技术压电驱动、静电驱动、磁致伸缩驱动和气动驱动的当前研究成果。总结了常用微驱动器的驱动方式及特征。提出了目前研究中存在的主要问题,在此基础上简要分析了微驱动器的发展前景。