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Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

来源期刊:功能材料2004年增刊第1期

论文作者:徐现刚 胡小波 李娟 蒋民华 姜守振 李现祥 董捷 王丽 王继扬

关键词:显微激光Raman光谱; X射线摇摆曲线; SiC单晶; 多型鉴定;

摘    要:利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.

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Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

徐现刚1,胡小波1,李娟1,蒋民华1,姜守振1,李现祥1,董捷1,王丽1,王继扬1

(1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100)

摘要:利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.

关键词:显微激光Raman光谱; X射线摇摆曲线; SiC单晶; 多型鉴定;

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