一种四极质谱仪射频电源控制与数据采集系统的研制

来源期刊：冶金分析2018年第9期

论文作者：李凯 李明 唐兴斌 宋春苗

文章页码：31 - 35

关键词：四极质谱仪;射频电源控制;数据采集系统;

摘    要：四极杆射频电源是四极质谱仪的核心部件,传统的四极杆射频电源控制与数据采集一般采用模数转换器（ADC）与主控芯片搭配来实现,先将信号进行预分频,再用ADC采集,处理速度慢、功能单一。本文基于微控制器（ARM）和现场可编程门阵列（FPGA）,研制了一种新型的射频电源控制与数据采集系统。ARM用于与上位机通讯及模块间的级联控制,FPGA负责交直流控制电压的输出、扫描时序产生及数据采集,进而实现仪器的质量数扫描、跳峰扫描等功能。选用基于上述设计的电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）样机,依照四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范JJF 1159—2006进行了分辨率、灵敏度、质量轴稳定性和线性测定试验,测定结果符合该规范要求。