薄膜热导率测试方法研究进展
来源期刊:材料导报2010年第7期
论文作者:张辉 朱文 肖承京 杨君友 彭江英 张建生
关键词:薄膜; 热导率; 测试方法; 3ω法; thin solid films; thermal conductivity; measurement; 3-omega method;
摘 要:薄膜材料的热导率一般与其相应的块体材料有较大的差异.由于其厚度较小,对块体材料热导率的测试方法一般不适用于薄膜材料,因此近几十年来,研究工作者们发明了很多新的用于薄膜热导率的测试方法.综述了薄膜热导率的一些常用测试方法,着重介绍了薄膜热导率的最新测试方法的特点及其适用范围,并针对广泛使用的3ω法进行了详细介绍.
张辉1,朱文1,肖承京1,杨君友1,彭江英1,张建生1
(1.华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室,武汉,430074)
摘要:薄膜材料的热导率一般与其相应的块体材料有较大的差异.由于其厚度较小,对块体材料热导率的测试方法一般不适用于薄膜材料,因此近几十年来,研究工作者们发明了很多新的用于薄膜热导率的测试方法.综述了薄膜热导率的一些常用测试方法,着重介绍了薄膜热导率的最新测试方法的特点及其适用范围,并针对广泛使用的3ω法进行了详细介绍.
关键词:薄膜; 热导率; 测试方法; 3ω法; thin solid films; thermal conductivity; measurement; 3-omega method;
【全文内容正在添加中】