影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素
来源期刊：云南冶金2019年第1期
论文作者：杨小林 扈百直 刘秉宁 李正飞 马肖
文章页码：61 - 65
关键词：ITO靶材;冷压;缺陷;粉末冶金;
摘 要：对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析。实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末。将粉末配成固含量65%的溶液,添加ITO粉末质量的2%～3%的PVA粘结剂及2.5%的分散剂（活性剂）及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6%,过150目筛的粉末。采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50～60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题。
杨小林1，扈百直1，刘秉宁1,2，李正飞1，马肖1
1. 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司2. 稀有金属特种材料国家重点实验室
摘 要：对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析。实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末。将粉末配成固含量65%的溶液,添加ITO粉末质量的2%～3%的PVA粘结剂及2.5%的分散剂（活性剂）及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6%,过150目筛的粉末。采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50～60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题。
关键词：ITO靶材;冷压;缺陷;粉末冶金;
