Co-Re化学气相沉积一体化系统的研究

来源期刊：机械设计与制造2020年第10期

论文作者：朱黎明 龚伟 敬瑀 杨康宁

文章页码：86 - 181

关键词：化学气相沉积;一体化;Co-Re合金涂层;控制系统;

摘    要：设计了Co-Re化学气相沉积一体化系统,采用两个升华室,分别以Co（acac）₂和Re₂（CO）₁₀为前驱体,通过运载气体H₂输运至反应室,在速射武器身管钢基体上（0CrNi2MoVA型钢材）同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。Co-Re化学气相沉积一体化系统包括机械系统和控制系统。介绍了系统的原理和构成,着重介绍了一体化系统的五个温控系统设计以及各个控制元件的连接和操作。经过初步的测试表明:能够给Co-Re涂层的形成提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,此系统能够用于Co-Re合金涂层的制备与研究。