简介概要

硬质合金刀具上的类金刚石薄膜硬度的研究

来源期刊：硬质合金2008年第4期

论文作者：满卫东谢鹏王传新王升高汪建华熊礼威

关键词：类金刚石薄膜; 射频辉光等离子体; 硬度; 硬质合金;

摘要：采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理,找出了最佳的生长参数.

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满卫东¹，谢鹏²，王传新¹，王升高¹，汪建华¹，熊礼威¹

(1.湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉,430073;
2.武汉工程大学材料学院,湖北武汉,430073)

摘要:采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理,找出了最佳的生长参数.

关键词:类金刚石薄膜; 射频辉光等离子体; 硬度; 硬质合金;

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