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CVD金刚石膜的机械抛光加工研究

来源期刊:硬质合金2000年第3期

论文作者:匡同春 白晓军 郭钟宁 王成勇 余忠民

关键词:CVD金刚石膜; 机械抛光; 表面形貌; chemically vapor deposited diamond film; mechanical polishing; surface morphology;

摘    要:在简要综述CVD金刚石膜光整加工方法的基础上,在自动抛磨机上对CVD金刚石厚膜进行了初步的机械抛光工艺研究,借助扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中CVD金刚石膜的表面形貌变化进行了观察,初步讨论了CVD金刚石的去除过程。



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CVD金刚石膜的机械抛光加工研究

匡同春1,白晓军1,郭钟宁1,王成勇1,余忠民2

(1.广东工业大学,广州 510090;
2.广东省机械研究所,广州,510630)

摘要:在简要综述CVD金刚石膜光整加工方法的基础上,在自动抛磨机上对CVD金刚石厚膜进行了初步的机械抛光工艺研究,借助扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中CVD金刚石膜的表面形貌变化进行了观察,初步讨论了CVD金刚石的去除过程。

关键词:CVD金刚石膜; 机械抛光; 表面形貌; chemically vapor deposited diamond film; mechanical polishing; surface morphology;

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