CVD金刚石膜的机械抛光加工研究
来源期刊:硬质合金2000年第3期
论文作者:匡同春 白晓军 郭钟宁 王成勇 余忠民
关键词:CVD金刚石膜; 机械抛光; 表面形貌; chemically vapor deposited diamond film; mechanical polishing; surface morphology;
摘 要:在简要综述CVD金刚石膜光整加工方法的基础上,在自动抛磨机上对CVD金刚石厚膜进行了初步的机械抛光工艺研究,借助扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中CVD金刚石膜的表面形貌变化进行了观察,初步讨论了CVD金刚石的去除过程。
匡同春1,白晓军1,郭钟宁1,王成勇1,余忠民2
(1.广东工业大学,广州 510090;
2.广东省机械研究所,广州,510630)
摘要:在简要综述CVD金刚石膜光整加工方法的基础上,在自动抛磨机上对CVD金刚石厚膜进行了初步的机械抛光工艺研究,借助扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中CVD金刚石膜的表面形貌变化进行了观察,初步讨论了CVD金刚石的去除过程。
关键词:CVD金刚石膜; 机械抛光; 表面形貌; chemically vapor deposited diamond film; mechanical polishing; surface morphology;
【全文内容正在添加中】