Al含量对(Ti, Al)N膜结构性能影响的研究进展
来源期刊：有色金属2008年第3期
论文作者：李国芳 王顺花 石宗利
关键词：金属材料; (Ti,Al)N膜; 综述; 结构; 性能;
摘 要：(Ti, Al)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前Al元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处.综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向.
李国芳1，王顺花1，石宗利2
(1.兰州交通大学,机电学院,兰州,730070;
2.湖南大学,材料科学与工程学院,长沙,410080)
摘要:(Ti, Al)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前Al元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处.综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向.
关键词:金属材料; (Ti,Al)N膜; 综述; 结构; 性能;
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