阳极氧化法制备TiO₂纳米管阵列

徐柏¹，梁桃华²，孟奕峰²，杨清学²，唐明君²，杨仕清^1,2

1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室2. 成都职业技术学院信息科学技术研究院

摘 要：采用阳极氧化法在乙二醇体系电解液中制备TiO2纳米管阵列,获得了长度为15~20μm的底端纳米管与顶端纳米线的新型复合结构。讨论了电解液中不同含水量对该复合结构形成的影响,并采用两步阳极氧化法对该结构的形成机理进行了分析。结果表明,当乙二醇体系电解液含有0.4%(质量分数)NH4F和2%(体积分数)H2O时,电解液腐蚀速度适中,纳米管上端部分被选择性腐蚀,最终形成纳米管与纳米线的复合结构。

关键词：TiO2;纳米管;阳极氧化;两步阳极氧化;