ASPEX全自动夹杂物分析仪试样的制备工艺

来源期刊：理化检验物理分册2018年第10期

论文作者：张敬蕊 胡庆利 赵乃胜 周志超 杨艳龙

文章页码：712 - 715

关键词：ASPEX全自动夹杂物分析仪;试样制备;工艺改进;清洁度;平行度;

摘    要：ASPEX全自动夹杂物分析仪对试样检测面的平行度和清洁度均有较高要求。通过对已有的扫描电镜类夹杂物分析用试样制备工艺进行改进,增加了冲洗、清抛、清洁等工艺步骤,并严格规范了试样安装步骤,确定了合理的ASPEX全自动夹杂物分析仪试样制备工艺。结果表明:使用该工艺制备的试样质量稳定,能够满足ASPEX全自动夹杂物分析仪全自动分析要求,改进后ASPEX全自动夹杂物分析仪对夹杂物自动识别的准确率由原来的54.43%提高到97.05%。