W/Mo超晶格薄膜的微结构研究
来源期刊：材料工程1999年第3期
论文作者：李鹏兴 吴亮 顾明元 许俊华 李戈扬 张流强
关键词：W/Mo纳米多层膜; 超晶格; 磁控溅射;
摘 要：纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一.采用XRD和TEM技术研究了W/Mo纳米多层膜微结构.结果表明,W和Mo由于同为体心立方结构,且晶格常数相近,由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征,形成多晶超晶格结构.
李鹏兴1，吴亮1，顾明元1，许俊华1，李戈扬1，张流强2
(1.上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030;2.中科院上海冶金研究所,上海,200050)
摘要:纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一.采用XRD和TEM技术研究了W/Mo纳米多层膜微结构.结果表明,W和Mo由于同为体心立方结构,且晶格常数相近,由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征,形成多晶超晶格结构.
关键词:W/Mo纳米多层膜; 超晶格; 磁控溅射;
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