TiAlN基薄膜的研究进展
来源期刊：机械工程材料2013年第4期
论文作者：张海平 王守仁 郭培全
文章页码：1 - 5
关键词：TiAlN;薄膜;纳米多层膜;纳米复合膜;
摘 要：综述了TiAlN薄膜、TiAlN纳米多层膜、TiAlN纳米复合薄膜的研究进展,主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能,并对影响其性能的因素进行了分析,提出了薄膜制备所存在的问题,最后对其今后的发展做了展望。
张海平，王守仁，郭培全
济南大学机械工程学院
摘 要：综述了TiAlN薄膜、TiAlN纳米多层膜、TiAlN纳米复合薄膜的研究进展,主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能,并对影响其性能的因素进行了分析,提出了薄膜制备所存在的问题,最后对其今后的发展做了展望。
关键词：TiAlN;薄膜;纳米多层膜;纳米复合膜;
