简介概要

多弧离子镀TiN涂层拉应力的探讨

来源期刊：材料保护2002年第9期

论文作者：杨守银孙伟张覃轶叶卫平宫秀敏

关键词：TiN涂层; 多弧离子镀; 拉应力;

摘要：多弧离子镀TiN涂层有着广泛的应用,但拉应力的存在影响了它的使用性能.本文对影响涂层拉应力的因素及产生原因进行了分析,并从基体材料的沉积工艺等方面提出了一些减小拉应力、提高涂层使用性能的方法.

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杨守银¹，孙伟²，张覃轶²，叶卫平²，宫秀敏²

(1.武汉铜材厂,湖北,武汉;
2.武汉汽车工业大学材料科学与工程系,湖北,武汉,430070)

摘要:多弧离子镀TiN涂层有着广泛的应用,但拉应力的存在影响了它的使用性能.本文对影响涂层拉应力的因素及产生原因进行了分析,并从基体材料的沉积工艺等方面提出了一些减小拉应力、提高涂层使用性能的方法.

关键词:TiN涂层; 多弧离子镀; 拉应力;

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