多晶硅副产物二氯二氢硅的应用研究
来源期刊:有色冶金节能2014年第3期
论文作者:石何武 杨永亮 汤传斌 肖荣晖 严大洲
文章页码:53 - 113
关键词:多晶硅;二氯二氢硅;反歧化;冷氢化;还原;
摘 要:主要针对多晶硅生产过程的副产物二氯二氢硅在还原、氢化、反歧化等工序中的应用进行研究,以期通过合适的处理方法提高多晶硅生产过程中的原料利用率并进一步降低多晶硅的生产成本。
石何武,杨永亮,汤传斌,肖荣晖,严大洲
中国恩菲工程技术有限公司
摘 要:主要针对多晶硅生产过程的副产物二氯二氢硅在还原、氢化、反歧化等工序中的应用进行研究,以期通过合适的处理方法提高多晶硅生产过程中的原料利用率并进一步降低多晶硅的生产成本。
关键词:多晶硅;二氯二氢硅;反歧化;冷氢化;还原;