共平面低功耗CO气体传感器的设计及制作
来源期刊：功能材料与器件学报2009年第6期
论文作者：王连元 刘丽 张彤 田云霞 范会涛
关键词：低功耗; 微结构; CO; 气体传感器; low power consumption; micro-structure; CO; gas sensor;
摘 要：设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于体积分数为50×10~(-6)CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10~(-6) CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器.
王连元1，刘丽1，张彤3，田云霞1，范会涛3
(1.吉林大学物理学院,长春130061;
2.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春130012;
3.吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012)
摘要:设计了一种新型的共平面微结构气体传感器,利用MEMS技术制作了传感器样品.实验测得该传感器对于体积分数为50×10~(-6)CO气体的灵敏度为8.6(R0/R),功耗为82mW,响应时间约5s,恢复时间约22s,该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50×10~(-6) CO气体)的2.5倍,而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2,是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低的微结构CO气体传感器.
关键词:低功耗; 微结构; CO; 气体传感器; low power consumption; micro-structure; CO; gas sensor;
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