甲基丙烯酸酯共聚物对光敏导电银浆光刻性能的影响

万剑¹，王宏¹，刘同心²，陈鹏¹

1. 轻工业部南京电光源材料科学研究所2. 南京工业大学材料科学与工程学院

摘 要：采用甲基丙烯酸酯共聚物制备光敏导电银浆,利用偏光显微镜和扫描电镜研究了共聚物的分子量和酸值对光敏银浆光刻性能的影响。研究结果表明:合成的共聚物能够满足光敏银浆的要求,其分子量过小或酸值过大,均会引起膜层附着力下降,导致光刻电极边缘锯齿、断线或脱落;反之,会造成光刻电极分辨率低。通过研究发现,分子量为60 000、酸值为62 mg KOH/g的甲基丙烯酸树脂制备的光敏银浆通过光刻工艺后可以得到高分辨率的电极图形,高温烧结后电极表面致密,边缘无翘曲现象,可以很好地保证电极的可靠性。

关键词：光敏导电银浆;共聚物;分子量;酸值;显影性能;