钛酸锶钡(BST)薄膜晶化过程研究
来源期刊：材料导报2004年第10期
论文作者：李燕 孙晓峰 姜斌 张鹰 王恩信 蒋书文 黄文
关键词：钛酸锶钡; 快速退火; 常规退火; 原子力显微镜; X射线衍射;
摘 要：采用射频磁控溅RF-magnetron sputting)法制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,用快速热处理(RTA)和常缮规热处理(CFA)对薄膜进行晶化.利用AFM、XRD等技术分析了钛酸锶钡薄膜的晶化过程,以及不同退火温度和退火方法下薄膜的晶粒、晶相特性.实验表明:钛酸锶钡薄膜在500℃开始结晶,到700℃左右时结晶比较完善,晶化过程中没有出现择优取向;从表面形貌和X射线衍射图综合分析,快速退火的晶化效果要优于常规退火.
李燕1，孙晓峰1，姜斌1，张鹰1，王恩信1，蒋书文1，黄文1
(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054)
摘要:采用射频磁控溅RF-magnetron sputting)法制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,用快速热处理(RTA)和常缮规热处理(CFA)对薄膜进行晶化.利用AFM、XRD等技术分析了钛酸锶钡薄膜的晶化过程,以及不同退火温度和退火方法下薄膜的晶粒、晶相特性.实验表明:钛酸锶钡薄膜在500℃开始结晶,到700℃左右时结晶比较完善,晶化过程中没有出现择优取向;从表面形貌和X射线衍射图综合分析,快速退火的晶化效果要优于常规退火.
关键词:钛酸锶钡; 快速退火; 常规退火; 原子力显微镜; X射线衍射;
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