Cu互连中Zr嵌入层对ZrN阻挡层热稳定性的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第8期
论文作者：翟艳男 杨坤 张晖 汤艳坤 张丽丽
文章页码：2007 - 2010
关键词：ZrN/Zr/ZrN膜;扩散阻挡层;Cu互连;射频反应磁控溅射;
摘 要：在不同的衬底偏压下,用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了ZrN/Zr/ZrN堆栈结构的阻挡层。研究了Zr层的插入对ZrN扩散阻挡性能的影响,结果表明:随着衬底偏压的升高,阻挡层的电阻率降低,ZrN呈(111)择优取向;Zr层的插入使ZrN阻挡层的失效温度至少提高100℃,750℃仍能有效地阻止Cu的扩散,阻挡性能提高的主要原因可能是高温退火时形成的ZrO2阻塞了Cu快速扩散的通道。
翟艳男1，杨坤1，张晖1，汤艳坤1，张丽丽2
1. 空军航空大学2. 长春富维-江森自控汽车饰件系统有限公司
摘 要：在不同的衬底偏压下,用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了ZrN/Zr/ZrN堆栈结构的阻挡层。研究了Zr层的插入对ZrN扩散阻挡性能的影响,结果表明:随着衬底偏压的升高,阻挡层的电阻率降低,ZrN呈(111)择优取向;Zr层的插入使ZrN阻挡层的失效温度至少提高100℃,750℃仍能有效地阻止Cu的扩散,阻挡性能提高的主要原因可能是高温退火时形成的ZrO2阻塞了Cu快速扩散的通道。
关键词：ZrN/Zr/ZrN膜;扩散阻挡层;Cu互连;射频反应磁控溅射;
