一种富钛NiTi薄膜的晶化动力学
来源期刊：功能材料2002年第4期
论文作者：宋德瑛 徐惠彬 刘庆锁 姜训勇
关键词：富Ti NiTi薄膜; 非晶; 晶化动力学; 变温方法;
摘 要：本实验采用直流磁控溅射法制备了一种非晶的富TiNiTi薄膜,其成分为Ni46.34%(原子分数),Ti 53.66%(原子分数).采用变温方法研究了这种非晶薄膜的晶化动力学.测得非晶薄膜晶化的激活能为271kJ/mol,平均Avrami指数为1.17.采用以上获得的动力学参数计算了薄膜在773K的等温晶化动力学曲线.计算结果与实验结果吻合较好.在薄膜的晶化过程中伴随着Ti2Ni的析出.
宋德瑛1，徐惠彬2，刘庆锁3，姜训勇4
(1.南开大学电极材料研究所,天津,300071;
2.北京航空航天大学材料科学与工程系,北京,100083;
3.天津理工学院材料系,天津,300191;
4.南开大学新能源材料研究所,天津,300071)
摘要:本实验采用直流磁控溅射法制备了一种非晶的富TiNiTi薄膜,其成分为Ni46.34%(原子分数),Ti 53.66%(原子分数).采用变温方法研究了这种非晶薄膜的晶化动力学.测得非晶薄膜晶化的激活能为271kJ/mol,平均Avrami指数为1.17.采用以上获得的动力学参数计算了薄膜在773K的等温晶化动力学曲线.计算结果与实验结果吻合较好.在薄膜的晶化过程中伴随着Ti2Ni的析出.
关键词:富Ti NiTi薄膜; 非晶; 晶化动力学; 变温方法;
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