辉光放电质谱法测定超高纯铝中痕量杂质元素
来源期刊:分析试验室2018年第9期
论文作者:陈胜洁 姚力军 王学泽 钟伟华 杨辉
文章页码:1085 - 1089
关键词:GDMS;超高纯铝;相对灵敏度因子;ICPMS;
摘 要:采用辉光放电质谱法(GDMS)分析超高纯铝样品(含铝量≥99.9995%)中B,Mg,Si,P,Cl,Ti等44种主要杂质元素,并且与电感耦合等离子体质谱法(ICPM S)进行对比,主要杂质元素含量检测结果一致。本工作对质谱干扰的排除和预溅射过程时间的确定进行了讨论,采用高纯铝标样对高纯铝中26种主要元素相对灵敏度因子(RSF)进行校正和验证,并考察了检测结果的准确性和精密度。结果表明,GDMS是超高纯铝样品直接测定的最有效手段之一。
陈胜洁1,2,姚力军2,王学泽2,钟伟华2,杨辉1
1. 浙江大学2. 宁波江丰电子材料股份有限公司
摘 要:采用辉光放电质谱法(GDMS)分析超高纯铝样品(含铝量≥99.9995%)中B,Mg,Si,P,Cl,Ti等44种主要杂质元素,并且与电感耦合等离子体质谱法(ICPM S)进行对比,主要杂质元素含量检测结果一致。本工作对质谱干扰的排除和预溅射过程时间的确定进行了讨论,采用高纯铝标样对高纯铝中26种主要元素相对灵敏度因子(RSF)进行校正和验证,并考察了检测结果的准确性和精密度。结果表明,GDMS是超高纯铝样品直接测定的最有效手段之一。
关键词:GDMS;超高纯铝;相对灵敏度因子;ICPMS;