真空退火对Ti6Al4V合金离子注氧层表面形貌和结构的影响

来源期刊：材料热处理学报2011年第S1期

论文作者：李金龙 郑维 马欣新

文章页码：107 - 110

关键词：Ti6Al4V合金;氧离子注入;表面形貌;结构;

摘    要：采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面处理。注入电压选取-50 kV,注入剂量为4.5×1017 ions/cm2。氧离子注入后对注入样品进行不同温度的真空退火处理。真空退火后,样品表面形貌发生显著变化。随着退火温度增加,先后出现点状、条状缺陷和浅白色块状区。500℃真空退火后样品表面粗糙度变化不大,600℃真空退火后样品表面粗糙度急剧增加。真空退火导致注氧层中氧流失,并且不能在注氧层中析出结晶相。