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箔式锰铜传感器的新进展

来源期刊：功能材料2005年第12期

论文作者：周鸿仁杜晓松杨邦朝滕林崔红玲

关键词：箔式锰铜传感器; Al2O3薄膜; 动态高压测试;

摘要：箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa.而采用绝缘封装层为A12O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限.动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm.

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周鸿仁¹，杜晓松¹，杨邦朝¹，滕林¹，崔红玲¹

(1.电子科技大学,电子工程学院电子实验中心,四川,成都,610054)

摘要:箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa.而采用绝缘封装层为A12O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限.动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm.

关键词:箔式锰铜传感器; Al2O3薄膜; 动态高压测试;

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