共溅射与多层膜溅射制备FePt:Ag颗粒膜的微观结构比较
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第12期
论文作者：王建平 李佐宜 程晓敏
关键词：FePt:Ag颗粒膜; 微观结构; 共溅射; 多层膜溅射; FePt:Ag granular films; microstructure; co-sputtering; multilayer-sputtering;
摘 要：采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀.这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性.对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释.
王建平1，李佐宜2，程晓敏2
(1.新加坡数据存储研究所,新加坡,117608;
2.华中科技大学,湖北,武汉,430074)
摘要:采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀.这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性.对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释.
关键词:FePt:Ag颗粒膜; 微观结构; 共溅射; 多层膜溅射; FePt:Ag granular films; microstructure; co-sputtering; multilayer-sputtering;
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