非水溶液中电化学沉积制备Sb2Te3热电薄膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年增刊第2期
论文作者：王春芬 陈立东 姚琴 刘付胜聪
关键词：电化学沉积; Sb2Te3; 热电薄膜; 非水溶液;
摘 要：采用电化学沉积法,从非水溶液DMSO中制备了Sb2Te3热电薄膜.并采用循环伏安、SEM、XRD、EPMA等技术分别对电化学沉积过程和产物的形貌、结构、组成进行了研究.结果表明,在非水溶液二甲亚砜(DMSO)中,当电解液中Sb原子和Te原子的摩尔比为2:3,沉积电位为-2.2V时,在室温下即可得到单相的Sb2Te3热电薄膜,元素的组成接近化学计量比,组成薄膜的为大小均匀的球状颗粒,直径约为2～3 μm左右.沉积电位对薄膜的组成影响明显,通过改变沉积电位,可以分别得到Te微过量的薄膜和近化学计量比的薄膜.
王春芬1，陈立东1，姚琴1，刘付胜聪1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100049)
摘要:采用电化学沉积法,从非水溶液DMSO中制备了Sb2Te3热电薄膜.并采用循环伏安、SEM、XRD、EPMA等技术分别对电化学沉积过程和产物的形貌、结构、组成进行了研究.结果表明,在非水溶液二甲亚砜(DMSO)中,当电解液中Sb原子和Te原子的摩尔比为2:3,沉积电位为-2.2V时,在室温下即可得到单相的Sb2Te3热电薄膜,元素的组成接近化学计量比,组成薄膜的为大小均匀的球状颗粒,直径约为2～3 μm左右.沉积电位对薄膜的组成影响明显,通过改变沉积电位,可以分别得到Te微过量的薄膜和近化学计量比的薄膜.
关键词:电化学沉积; Sb2Te3; 热电薄膜; 非水溶液;
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